高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù)通過(guò)鑒定
2025/04/224月15日,北京化工大學(xué)等多家單位完成的“高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù)研究與應(yīng)用”項(xiàng)目,在北京通過(guò)了中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)(簡(jiǎn)稱“中國(guó)石化聯(lián)”)組織的科技成果鑒定。記者了解到,北京化工大學(xué)教授李群生帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)針對(duì)國(guó)家戰(zhàn)略需求,研發(fā)了高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù),并成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,成為科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的典型案例。
此次鑒定會(huì)上,由舒興田、屠海令(線上)、錢旭紅(線上)、鄭裕國(guó)(線上)、馮志海等5位中國(guó)工程院院士,以及中石油云南石化有限公司教授級(jí)高工張有林、中國(guó)中化控股有限公司教授級(jí)高工晉工、中國(guó)石化集團(tuán)公司科技部首席科學(xué)家莊毅、清華大學(xué)教授呂陽(yáng)成、北京化工研究院首席專家李東風(fēng)、中國(guó)石油大學(xué)(北京)教授陳光進(jìn)等共11位專家組成的鑒定委員會(huì)一致認(rèn)為,該成果核心技術(shù)處于國(guó)際領(lǐng)先水平,同意通過(guò)鑒定,建議進(jìn)一步推廣應(yīng)用。北京化工大學(xué)副校長(zhǎng)任鐘旗、中國(guó)石化聯(lián)科技與裝備部主任李永亮出席本次鑒定會(huì)并講話,鑒定會(huì)由中國(guó)石化聯(lián)科技與裝備部副處長(zhǎng)曾春陽(yáng)主持。
據(jù)介紹,該項(xiàng)目在多個(gè)領(lǐng)域取得了一系列重大創(chuàng)新成果。根據(jù)鑒定意見(jiàn),該項(xiàng)目建立了精餾塔內(nèi)氣液兩相流的數(shù)學(xué)模型,研發(fā)了IP型高效填料和導(dǎo)向復(fù)合塔板,填料分離效率提高了37.5%~50%,塔板分離效率達(dá)到75%~85%;發(fā)明了反應(yīng)除雜技術(shù),利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應(yīng)為四氯化硅,產(chǎn)品純度達(dá)到99.9999999%(9N級(jí));開(kāi)發(fā)了等離子反應(yīng)合成技術(shù),實(shí)現(xiàn)乙硅烷的定向合成,得到99.99999%(7N級(jí))乙硅烷。
同時(shí),該項(xiàng)目發(fā)明了精餾—連續(xù)多級(jí)逆流分布結(jié)晶技術(shù),應(yīng)用于對(duì)二氯苯-鄰二氯苯等分離,產(chǎn)品純度≥99.999%;開(kāi)發(fā)了優(yōu)化結(jié)構(gòu)的雙載體吸附系統(tǒng),與精餾及其他分離技術(shù)耦合,實(shí)現(xiàn)對(duì)雜質(zhì)的深度脫除,生產(chǎn)出99.999999%(8N級(jí))四氯硅烷;開(kāi)發(fā)了高效抗雜質(zhì)滲入技術(shù),實(shí)現(xiàn)了電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備的超潔凈防護(hù)。其中,電子級(jí)氫氟酸單個(gè)金屬離子雜質(zhì)含量降至5ppt以下,突破G5標(biāo)準(zhǔn)要求。
據(jù)悉,李群生團(tuán)隊(duì)目前已取得獲授權(quán)的多項(xiàng)國(guó)內(nèi)外發(fā)明專利,具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
該項(xiàng)目不僅在科技創(chuàng)新方面屢獲突破,在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用領(lǐng)域也收獲累累碩果。項(xiàng)目成果已在多家企業(yè)獲得廣泛應(yīng)用,并生產(chǎn)出百余種產(chǎn)品,取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和環(huán)境效益。
據(jù)統(tǒng)計(jì),近3年該項(xiàng)目技術(shù)應(yīng)用累計(jì)節(jié)約蒸汽116萬(wàn)噸、電耗47763萬(wàn)千瓦時(shí),節(jié)能折合標(biāo)煤20.8萬(wàn)噸,相當(dāng)于減排二氧化碳51.8萬(wàn)噸?!斑@是因?yàn)轫?xiàng)目技術(shù)可以顯著降低化工分離過(guò)程的能源消耗與環(huán)境負(fù)荷。”李群生說(shuō),內(nèi)蒙古雙欣高端醋酸乙烯生產(chǎn)應(yīng)用該項(xiàng)目技術(shù)后,影響環(huán)境污染的醋酸甲酯等物質(zhì)含量從0.04%~0.06%降低至150ppm以下,優(yōu)于國(guó)際技術(shù)指標(biāo),同時(shí)回收大量醋酸甲酯,減輕了大氣污染。
談及未來(lái),李群生表示,項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)將進(jìn)一步深化智能化與綠色化創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)精餾過(guò)程動(dòng)態(tài)優(yōu)化與能量梯級(jí)利用;探索精餾耦合、生物基化學(xué)品分離等前沿領(lǐng)域,助力實(shí)現(xiàn)碳中和目標(biāo);深化稀土同位素、超高純材料制備技術(shù),支撐航空航天、半導(dǎo)體等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)發(fā)展。未來(lái)5年,項(xiàng)目技術(shù)應(yīng)用將新增產(chǎn)值超400億元,帶動(dòng)就業(yè)崗位1萬(wàn)個(gè),助力我國(guó)高端化學(xué)品自給率提升。
李群生同時(shí)表示,項(xiàng)目還將通過(guò)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)國(guó)際化與高質(zhì)量共建“一帶一路”合作,推動(dòng)中國(guó)方案在全球化工行業(yè)應(yīng)用?!绊?xiàng)目成果可通過(guò)技術(shù)許可、工程總包等方式向國(guó)外輸出?!彼f(shuō),預(yù)計(jì)到2030年,項(xiàng)目技術(shù)出口將形成超10億元的年服務(wù)收入規(guī)模,推動(dòng)我國(guó)化工技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)成為國(guó)際標(biāo)桿。
來(lái)源:中國(guó)化工報(bào)